真空镀膜设备不管是磁控溅射、蒸发镀膜还是光学镀膜，都离不开冷水机，而且需要冷却的部位比一般设备多。冷水机配得好不好，不光影响设备寿命，还直接影响膜层质量和镀膜良率。镀膜机冷水机到底怎么配？下面说重点。

镀膜机需要水冷的地方主要有这么几处：

首先是真空获得系统。扩散泵工作时泵体温度很高，必须通水冷却，没有水冷扩散泵根本没法正常工作，泵油也会烧坏。罗茨泵、维持泵这些泵体和油冷却器也需要冷却水，前面真空泵冷却的文章里讲过，这里不细说了。

然后是镀膜核心部件。磁控溅射镀膜的靶座发热非常大，溅射过程中靶材和靶座积累大量热量，必须通水把热量带走，不然靶材密封件很快损坏，靶座也可能变形。蒸发镀膜的电子枪同样发热量大，电子束轰击坩埚的热量要靠冷却水带走。

真空室壁、工件架很多机型也要冷却。镀膜过程中基板和工件温度会升高，温度高了膜层附着力、均匀性都受影响，有些工艺还要求控制基板温度。镀膜机的中频电源、偏压电源工作时发热，不少也要水冷。

配冷水机的时候，制冷量要把所有冷却部位的发热量加在一起算，跟镀膜机大小、靶材数量、泵的配置、镀膜工艺都有关系。把镀膜机型号和各部位冷却水接口参数整理好给冷水机厂家，技术人员会帮你核算，不能只看机器大小随便配。

水温一般控制在20℃左右比较合适，具体按镀膜机厂家要求。水温太高冷却不够，水温太低夏天管路和真空室表面容易结露，真空设备最怕进水和结露。水温要稳定，温度波动会影响膜层稳定性，所以冷水机温控精度不能太差。

水流量和水压必须满足要求，靶座、扩散泵这些部位流量不够很容易出问题。每路供水管路上最好装阀门，方便调节和检修，冷水机带水压、流量保护，水量不够自动报警停机，保护设备。

水质也不能马虎，镀膜设备内部水道窄、又是精密部件，水质差结垢堵塞很难处理，要用干净的软化水或纯净水，定期检查水质、清洗换热器。

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